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ICP光譜儀是當(dāng)前光譜分析中非常迅速非常靈敏的一種儀器。
ICP光譜儀三大主要部分：
一是激光光譜的光源;
二是光譜儀系統(tǒng)，使不同波長(zhǎng)的光聚焦在儀器上的特定位置。
三是用置于焦點(diǎn)上的探測(cè)器來(lái)量光的強(qiáng)度。近代的光譜儀大都采用微型計(jì)算機(jī)處理實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
它是將成分復(fù)雜的光分解為光譜線(xiàn)的科學(xué)儀器。它密封在一個(gè)溫度穩(wěn)定的恒溫機(jī)箱里，設(shè)計(jì)小巧，操作簡(jiǎn)易，設(shè)備的搬運(yùn)和操作只要一個(gè)人就能完成。
它具有樣品用量少，應(yīng)用范圍廣且快速，靈敏和選擇性好等特點(diǎn)。
ICP光譜儀包括以下幾個(gè)主要部分：
1、入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點(diǎn)。
2、準(zhǔn)直元件: 使狹縫發(fā)出的光線(xiàn)變?yōu)槠叫泄�。該�?zhǔn)直元件可以是一獨(dú)立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。
3、色散元件: 通常采用光柵，使光信號(hào)在空間上按波長(zhǎng)分散成為多條光束。
4、聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點(diǎn)對(duì)應(yīng)于一特定波長(zhǎng)。
5、探測(cè)器陣列：放置于焦平面，用于測(cè)量各波長(zhǎng)像點(diǎn)的光強(qiáng)度。該探測(cè)器陣列可以是ccd陣列或其它種類(lèi)的光探測(cè)器陣列。
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